特点：
♦采用球面镜实施匀光，适合大规模量产的自动化方案；
♦突破对晶圆精定位的关键技术，晶圆精确定位夹紧装置主要用于对晶圆测试过程
中的定位及固定；
♦针对晶圆的本身形变，设计了Z轴电机去做相应的高度的补偿；
♦可快速定位晶圆任意位置的die坐标，精度可做到0.02mm；
♦可快速推导整个晶圆任意die的形变高度，精度可做到0.02mm；
参数：
♦产品的重复定位精度：±1um、定位精度：±1.5um；
♦最大加速度：0.5g、最大速度：5m/S、水平直线度10um；
♦待测单个DOE口径大小：Φ 1mm~Φ 10mm，检测波段范围 600nm~1060nm
（依据待测物的工作波段可调整工作谱段）；
♦衍射效率精度：1%；
♦最大衍射角：2ω：140°；
♦工作距离：93mm
